由浙江大学承担的“基于MEMS技术的天然气流量计实用化研究”课题日前通过了由863计划先进制造与自动化领域MEMS专项组织的专家验收。 该课题成功研制了精度高、流阻小、量程宽的TMF热式流量计系列产品，产品应用前景广阔。在课题实施过程中，重点研究解决了硅膜与基体材料之间的高效绝热薄膜层材料和加工工艺，以及传感器表面抗腐蚀、耐磨损、低粘附性封装材料及封装工艺；适用于天然气计量的热式流量计供电模式、静压误差补偿、温度漂移、表面粘滞效应等关键技术及工艺问题；研制出热惯性低、频响高的芯片级传感器和高精度、大量程、低功耗的热式流量计产品。该系列产品已实现小批量生产与试用，新增产值636万元。